盘点国产光刻产业链的“星星之火”，十三年磨一剑背后的中国芯片
发布时间：2020-12-29 01:24:18 所属栏目：评论 来源：未知
导读：副标题#e# 今年六月份有消息传出，国产光刻机龙头上海微电子将在一年内交付用于28nm制程生产的193nm ArF光刻机。 另外，据方正证券今年发布的相关研报，国家02专项光刻机项目二期曾设定，拟于2020年12月验收由上海微电子设计集成的193nm ArF浸没式DUV光刻机
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